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AMOLED 제조시 증발 공정
Mar 05, 2018

OLED가 우수한 색과 품질을 갖는 이유는 자체 발광입니다. 디스플레이 스크린의 자기 방출은 픽셀 자체에 의해 빛과 컬러가 방출됨을 의미합니다. 이 개념은 외부 광원 (Bei Guangyuan)에서 빛을 받아 필터를 통해 빛의 색을 제어하는 LCD와 같은 유형을 사용합니다.


디스플레이에서 픽셀이 형성되는 방식을 컬러 패터닝이라고합니다. 적색, 녹색 및 청색의 3 원색 (통상적으로 3 개의 서브 픽셀은 하나의 픽셀을 구성 함)에 기초한 서브 픽셀은 오류없이 패터닝되어야하므로, 디스플레이의 스크린은 내용을 정확하고 정확하게 표시 할 수 있어야한다. 자 발광 OLED 픽셀을 어떻게 만드나요?


업계에는 다양한 방법이 있으며 대량 생산의 가장 일반적으로 사용되는 방법은 증발입니다. 현재, 고정밀, 대용량 OLED 마이크로 요소 컬러 패터닝을 달성하는 유일한 방법은 증발을 통한 것입니다.


증착은 OLED의 핵심 공정 중 하나이며 OLED 제조 공정의 5 가지 주요 단계 중 두 번째 단계이기도합니다.


[LTPS] - [스팀 도금] - [패키지] - [유닛] - [모듈]


LTPS (저온 폴리 실리콘)가 발광의 여러 픽셀을 제어하는 데 사용되는 경우 증발 과정은 빛과 색을 생성 할 수있는 자체 발광 픽셀 자체를 생성하는 것입니다.

다시 보자.


OLED는 유리 기판 상에 적색 (R), 녹색 (G) 및 청색 (B)을 방출하는 유기 발광층 및 유기 발광층을 보호하기위한 구조적 조성물이다. 조심스럽게 유기 발광층을 관찰하면, HIL 및 ETL과 같은 보조 층이 함께 결합 된 것을 알 수있다. 이것은 발광 효율성을 향상시켜 발광 효율을 RGB만으로 방출되는 빛보다 높게 만듭니다.


유기층을 형성하는 가장 일반적인 방법은 "증기 도금"입니다. 증발은 증발과 유사합니다.



냄비에 물이 끓게되면 냄비의 뚜껑에 이슬이 맺히게됩니다. 차이점은 스팀 도금이 물을 유기 물질로 대체하는 데 사용되며 정상 대기압이 아닌 진공 상태에서 가열된다는 점입니다.


증발은 진공, 즉 진공 챔버라고 불리는 장치에서 수행되어야합니다. 대형 LTPS 백보드는 컬러 패터닝을 위해 진공 챔버에서 만들어집니다. (이 기판에 컬러 패턴을 만든 후 스마트 폰의 크기에 따라 셀을 절단하여 사용합니다.)


일단 LTPS가 잘 만들어지고 진공 챔버에 배치되면, 정밀한 금속 마스크 (FMM)가 LTPS 기판 아래에 위치하게됩니다. 마스크는 얇은 판에 작은 구멍이있는 장치이므로 유기 물질을 찌고 때 특정한 위치에만 쌓일 수 있습니다. 마스크를 사용하지 않으면 녹색과 파란색이 적색 (R) 픽셀에 증착되어 순수한 색상이 얻어지지 않습니다. 그러므로, RGB 대응 위치 및 형상의 상이한 템플레이트가 증발 프로세스 동안 다른 시간에 사용된다.


마스크가 준비되면 스팀 공급원 (예 : 유기 물질과 같은 유기 물질)을 그 아래에 놓고 적절한 온도로 가열합니다. 가열이 시작되면 분자 단위의 작은 유기 분자가 마스크를 통과하여 원하는 위치에 쌓입니다.


우리는 OLED의 핵심 공정 중 하나 인 스팀 도금의 개념에 대해 이야기했습니다. 그런 다음 도금 증발을 통한 컬러 패터닝 프로세스를 자세히 살펴 보겠습니다.


아래에서 우리는 OLED의 핵심 제조 공정 중 하나 인 "스팀 도금"에 대해 계속 이야기 할 것입니다. "찐 도금의 첫 번째 부분"의 마지막 부분에서 우리는 증발의 개념과 원리에 대해 논의하고, 증발의 특정 과정을 논의 할 것입니다.


OLED 증발 공정은 먼저 LTPS (저온 폴리 실리콘) 위에 유기층을 형성한다. LTPS는 디스플레이의 픽셀을 제어하는 데 사용되는 스위치임을 기억하십시오. OLED에서, 발광 픽셀은 전기 신호에 의해 빛과 색을 나타내는 유기 물질로 구성됩니다. 제어 회로 신호는 LTPS를 담당하므로 LTPS는 OLED 층과의 연결을 형성해야하고 형성 방법은 "증발"과정에서 완료되어야합니다.


위 그림에서 보듯이, LTPS 양극 위에는 EML (emitter layer)이 존재합니다. 그림에서 빨간색 하위 픽셀 만 예제로 그립니다. 조심스럽게 구조를 관찰하면 EML의 방출 효율을 높이기 위해 보조 층이 EML의 위와 아래에 있음을 알 수 있습니다.


전자는 캐소드에서 EIL (전자 주입 층)으로 주입되어 ETL (전자 수송층)을 통해 EML에 도달한다.


마찬가지로, 정공은 양극에서 대향 측의 HIL (정공 주입 층)에 주입되고, HTL (정공 수송층)을 통해 EML에 도달한다. EML의 전자와 정공이 만나는 경우 빛을 결합하여 전달합니다.


동일한 구조가 적색 일뿐만 아니라, 녹색 및 청색 유기 광층이 생성 될 수 있다면, 이들은 결합되어 단일 픽셀을 형성한다.


그럼, 유기 빛 층은 어떤 순서로 만들었습니까? 다음 애니메이션을 통해 과정을 보도록하겠습니다.



기본적인 OLED 증발 공정은 LTPS (애노드 함유)의 기판상의 먼지 및 불순물을 제거하는 작업으로 시작됩니다. 기판을 세정 및 건조시킨 후에, 잔류 애노드 재료는 플라즈마에 의해 제거되고, 애노드로부터 HIL 로의 홀 주입 특성이 개선된다.



다음으로, 정공 주입 층 인 HIL을 완전히 증발시킨 다음, 정공 수송층 인 HTL을 증착하여 보조 층을 형성한다.


다음은 원하는 위치를 선택적으로 증착하기 위해 마스크를 사용해야하는 실제 발광 EML 층입니다.


이어서, ETL (증착 된 전자 수송층) 및 EIL (전자 주입 된 층)이 증발되어 전자 수송을위한 보조 층을 형성한다. 마지막으로, 음극이 증발되어 유기 발광층의 전체 증착 공정을 완료한다.